電解拋光原理

電解拋光（Electro-polishing，簡稱EP）的原理是將工件接于陽極并置于電解液中通直流電，利用電解作用將工件最表層之金屬及雜質溶解移除，使工件表面平坦滑順、潔凈無瑕、光澤明亮，更可提升表面的抗腐蝕性，可說是最佳的表面亮化方法。

半導體制程中，氣體供應之零組件相當要求潔凈性、表面平滑性及抗腐蝕性等，目前適用于半導體組件的表面處理方法有數種，其中電解拋光法因具有以下特性，已成為半導體制程中重要的閥件、管件及其零組件等流路內部之表面處理的主要方法。

電解拋光法之特性：

(1)　鈍化層

不銹鋼材料在進行電解拋光處理時，藉由電化學的原理，適當地調整電壓、電流、酸液成分、溫度及拋光時間，便可控制加工表面的氧化鉻薄膜厚度，使不銹鋼管達到最佳的抗蝕性。

(2)　高潔凈度

電解拋光之制程系將工件最表層移去，因此表面之雜質層、氧化層、殘留應力層等，皆會被移除，加工完成后可獲得非常平坦的表面，沒有可以藏污納垢的凹陷，因此可使工件在使用時，表面達到高潔凈度。

(3)　適合薄型工件及特殊形狀加工

電解拋光加工過程中，工件是泡在電解液中，所以不受任何應力，不會有表面加工變質層及造成表面殘留應力，但可溶解除去前制程中，零件表面因機械加工而產生的應力層。因此，電解拋光非常適合處理薄型工件及特殊形狀工件，且對于小型工件，可大量一次進行而減少加工時間。

1、技術含量高:

    核心部件采用國際專利技術產品,控制電路采用專有技術,穩壓性能強,提高了工作效率。

2、可靠性強:

    保證設備安全運行,減少故障發生,保護齊全,隔離及防腐措施合理

3、控制精度高:

    由于系統反應速度快（微秒級），對于網電及負載變化具有極強的適應性，輸出精度可優于1%。開關電源的工作效率高、所以控制精度高，有利于提高產品質量。

4、節電效果好:

    較可控硅整流器可節電10%-30%,對企業降低成本定會發揮重要作用。

5、靈活性強：

    輸出電壓、電流可調，限壓、限流可調，大大提高客戶使用靈活性。

6、保護功能齊全：

    軟啟動保護，輸入交流欠壓、過壓保護，輸出過流、過熱保護功能。

7、輸出波形易于調制：

    由于工作頻率高，其輸出波形調整相對處理成本較低，可以較方便的按照用戶工藝要求改變輸出波形。這樣對于工作現場提高工效，改善加工產品質量有較強作用。

8、壽命長：

    水冷系列采用密封及水冷結構，功率部件通過水冷卻，延長了其使用壽命，可使用自然水或潔凈自然水冷卻；風冷系列采用獨立隔離風道從而確保其具有較高的防腐等級。

二、結構及工藝特點

1、完善的風道隔離技術

    在污染情況嚴重的運行環境下，將電源的散熱部分與功率及控制部分實行風道隔離是保證電源長期可靠運行的必要手段。我公司產品實行了徹底的風道隔離技術。其實，這一技術的關鍵是，在實行風道隔離的前提下，為電源系統提供良好的散熱環境，這就需要選用合適的風機、合適的散熱器、布置合理的風道。我公司選用國產優質250風機，定制符合風道設計的散熱器，散熱系統高效可靠。

2、獨創的主功率器件水冷卻技術

    金屬材料內置水道技術于2005年在我公司率先使用。該技術解決了IGBT等功率器件的水冷方式散熱難題。2006年，我公司又率先推出了水冷式變壓器。這兩項技術解決了全水冷開關電源的主要技術障礙。由于其結構簡單，重量輕，便于維修維護，一經進入市場，就受到用戶的歡迎，導致油浸水冷式開關電源基本退出市場。

3、高可靠性水道處理技術

    水冷電源在主要技術問題解決后，水道的外部連接也是一個需要解決的重要技術問題。其基本要求是連接通道耐壓耐溫能力強，彎曲易于實現且不能變形，抗老化能力強，連接可靠不漏水，絕緣能力強。我公司采用鋁塑管，很好的實現了這個目的。

4、先進的高頻噪聲處理電路

由于開關電源采用了高速的大功率開關器件，在這些開關器件開通和關斷的瞬間（5微秒以內），其輸出波形存在尖銳而短暫的高頻噪聲（2微秒以內）。這種高頻噪聲對接用設備的使用效果有的情況下會產生不利作用。消除高頻噪聲也是開關電源性能好壞的一個重要指標。

5、合理的多水道冷卻技術

    在水道設計方面，不但要考慮到總體的水量大小，還要考慮到水流運動過程中水溫變化對局部冷卻器件的冷卻效果的影響，這樣就需要考慮用多水道方案解決冷卻效果不一致的問題。隨之而來的是不同通道水阻不通帶來的水流不均衡問題。我公司產品充分考慮到了水冷卻技術本身的各種具體問題，實行了科學合理的多通道水冷卻系統。

三、設計特點

1、器件及材料選用科學合理

    主要器件如前所述，其他器件及材料選用我公司也執行了一律選用國內國際優秀品牌的原則。小到操作開關器件，大到IGBT，我公司這些年都在國內外進行了長期篩選，優選出了與我公司建立長期供求關系的優質供應商。

2、按不同需求選用合適的拓撲電路形式

    電源功能實現的基礎是選用合適的拓撲電路形式。許多電源制造企業對這一點注意不夠，因而生產的開關電源從基礎上就存在缺欠，導致其所生產的開關電源難以長期穩定運行，更談不到滿足用戶的工藝要求。

3、安全余量有保證

七、我公司電源產品的獨特特點：

    我公司開關電源長期堅持留有足夠設計余量，以保證電源在合理使用條件下，能夠始終在合理的工況狀態下運行。根據不同情況，我公司電源主功率系統一般按110%到130%余量進行設計。

   由于我公司電源具備以上特點，加之我公司基本實現了規范化、模塊化的管理體系，從而形成了我公司開關電源的獨特優勢：

1、控制有效，高度一致，適應性好。

2、裝配規范，結構緊湊，可靠性高。

3、跟隨迅速，波形穩定，使用效果佳。

4、器件優良，余量合理，使用壽命長。

5、技術高端，穩定高效，節能效果好。

※可根據客戶要求定制※歡迎來電咨詢!

專業定制：脈沖電源,電鍍電源,水處理電源,老化電源,氧化電源,稀土冶煉電源,整流器,加熱電源,高頻開關電源,節能氧化電源,電解電源,單晶硅電源,藍寶石加熱電源,鋁型材氧化電源，實驗電源,充電電源。